PHY.08359.01 - Advanced CMOS technology (Complete module description)

PHY.08359.01 - Advanced CMOS technology (Complete module description)

Original version English
PHY.08359.01 5 CP
Module label Advanced CMOS technology
Module code PHY.08359.01
Semester of first implementation
Faculty/Institute Institut für Physik
Module used in courses of study / semesters
  • Physik und Nanotechnologie (180 LP) (Bachelor) > Physik PhysikNano180, Version of accreditation valid from WiSe 2024/25 > Pflichtmodule
Responsible person for this module
Further responsible persons
Dr. Richard Boucher
Prerequisites
Skills to be acquired in this module
Die Studierenden sollen:
  • Ein Verständnis für den grundlegenden Aufbau und die Funktion integrierter CMOS Schaltungen entwickeln.
  • Die Bedeutung und Definition der Technology nodes und der verschiedenen Leistungskriterien moderner CMOS Schaltungen begreifen.
  • Die verschiedenen notwendigen Fertigungsschritte kennenlernen und verstehen.
  • Neue aktuelle Weiterentwicklungen im Materialbereich wie Silicon on insulator, strained silicon oder silicon germanium kennenlernen und die entsprechenden Vorteile verstehen.
  • Weitere Neuentwicklungen wie FinFETs und ähnliche im Kontext der aktuellen Hochintegration verstehen und einordnen.
Module contents
1. Grundlegende Begriffe der CMOS Technologie, Technology nodes, Flächenbedarf
2. Aufbau und Bestandteile von Standard CMOS-Schaltungen
3. Ablauf des Fertigungsprozesses für VLSI Schaltungen, Prozessbeispiele
4. Silicon on insulator Technologie
5. Vorteile und Nutzung von strained silicon und silicon germanium
6. Entwicklung von planarer Technologie zu 3D MOSFETs (FinFET Technologie)
Forms of instruction Lecture (2 SWS)
Seminar (1 SWS)
Course
Languages of instruction German, English
Duration (semesters) 1 Semester Semester
Module frequency jedes Wintersemester
Module capacity unrestricted
Time of examination
Credit points 5 CP
Share on module final degree Course 1: %; Course 2: %; Course 3: %.
Share of module grade on the course of study's final grade 1
Module course label Course type Course title SWS Workload of compulsory attendance Workload of preparation / homework etc Workload of independent learning Workload (examination and preparation) Sum workload
Course 1 Lecture Vorlesung 2 0
Course 2 Seminar Projektseminar 1 0
Course 3 Course Selbststudium 0
Workload by module 150 150
Total module workload 150
Examination Exam prerequisites Type of examination
Course 1
Course 2
Course 3
Final exam of module
mündl. Prüfung oder Klausur
Exam repetition information
Prerequisites and conditions Prerequisites Frequency Compulsory attendance Share on module grade in percent
Course 1 Winter semester No %
Course 2 Winter semester No %
Course 3 Winter semester No %