PHY.08362.01 - Advanced nanostructure fabrication (Complete module description)

PHY.08362.01 - Advanced nanostructure fabrication (Complete module description)

Original version English
PHY.08362.01 5 CP
Module label Advanced nanostructure fabrication
Module code PHY.08362.01
Semester of first implementation
Faculty/Institute Institut für Physik
Module used in courses of study / semesters
  • Physik und Nanotechnologie (180 LP) (Bachelor) > Physik PhysikNano180, Version of accreditation valid from WiSe 2024/25 > Pflichtmodule
Responsible person for this module
Further responsible persons
PD Dr. Alexander Sprafke
Prerequisites
Skills to be acquired in this module
Die Studierenden sollen im Rahmen der Vorlesung einen breiten Überblick über verschiedene Reinraumtechnologien erhalten, die zur Herstellung von Nanostrukturen notwendig sind.
Hierbei erlernen sie neben den bei der ULSI Fertigung zum Einsatz kommenden Verfahren auch alternative Verfahren.
Die Studierenden lernen neben der reinen Funktionsweise der Verfahren auch die Limitierungen und Artefakte der verschiedenen Prozesse korrekt einzuschätzen und bei der Prozessplanung zu berücksichtigen.
Im Rahmen des Projektseminars erlernen die Studierenden basierend auf den erhaltenen Informationen Prozesse selber zu planen, und ihre Durchführbarkeit zu überprüfen.
Module contents
  • Bauelementkonzepte und Ziele der Strukturierung
  • Dünnschichtdeposition
- Sputtern
- Epitaxie
- Aufdampfverfahren
  • -Ätzverfahren
- Nasschemisches Ätzen
- Trockenchemisches Ätzverfahren
  • Lithographie
- Grundlagen (positiv/negativ Lithographie)
- UV-Lithographie, Kontaktlithographie, Maskenlose Lithographie, Projektionslithographie
- Extreme UV Lithographie
- Elektronenstrahllithographie
- Design-Rules und Proximitykorrektur
  • Alternative Lithographieverfahren
- Nanoimprintlithographie
- Microcontact printing
Forms of instruction Lecture (2 SWS)
Seminar (2 SWS)
Course
Languages of instruction German, English
Duration (semesters) 1 Semester Semester
Module frequency jedes Sommersemester
Module capacity unrestricted
Time of examination
Credit points 5 CP
Share on module final degree Course 1: %; Course 2: %; Course 3: %.
Share of module grade on the course of study's final grade 1
Module course label Course type Course title SWS Workload of compulsory attendance Workload of preparation / homework etc Workload of independent learning Workload (examination and preparation) Sum workload
Course 1 Lecture Vorlesung 2 0
Course 2 Seminar Projektseminar 2 0
Course 3 Course Selbststudium 0
Workload by module 150 150
Total module workload 150
Examination Exam prerequisites Type of examination
Course 1
Course 2
Course 3
Final exam of module
mündl. Prüfung oder Klausur
Exam repetition information
Prerequisites and conditions Prerequisites Frequency Compulsory attendance Share on module grade in percent
Course 1 Summer semester No %
Course 2 Summer semester No %
Course 3 Summer semester No %