CHE.08360.01 - Chemical aspects in nanotechnology (Complete module description)

CHE.08360.01 - Chemical aspects in nanotechnology (Complete module description)

Original version English
CHE.08360.01 5 CP
Module label Chemical aspects in nanotechnology
Module code CHE.08360.01
Semester of first implementation
Faculty/Institute Institut für Chemie
Module used in courses of study / semesters
  • Physik und Nanotechnologie (180 LP) (Bachelor) > Physik PhysikNano180, Version of accreditation valid from WiSe 2024/25 > Pflichtmodule
Responsible person for this module
Further responsible persons
Prof. Dr. Wouter Maijenburg
Prerequisites
Skills to be acquired in this module
  • Die Studierenden sollen Kenntnisse in verschiedenen Bereichen chemischer Prozesse, die für die Herstellung von Nanostrukturen notwendig sind, erwerben, sowohl aus der anorganischen Chemie im Bereich der Ätzprozesse und Elektrodeposition als auch aus der organischen Chemie im Bereich der Resistchemie und Lithographie.
  • Zusätzlich erlernen die Studierenden (übergreifend) die Chemie der Halbleiterdeposition aus der Gasphase.
Module contents
  • Grundlagen der anorganischen Chemie
  • Löslichkeit, Komplexbildung, nasschemisches Ätzen
  • Gleichgewichtsreaktionen, Gasphasenabscheidung, reaktions und diffusionslimitiertes Wachstum
  • Gasphasenreaktionen, Bildung flüchtiger Verbindungen und Reposition bei trockenchemischen Ätzprozessen
  • Redoxreaktionen und elektrochemische Abscheidung aus der Lösung
Forms of instruction Lecture (2 SWS)
Seminar (2 SWS)
Course
Languages of instruction German, English
Duration (semesters) 1 Semester Semester
Module frequency jedes Wintersemester
Module capacity unlimited
Time of examination
Credit points 5 CP
Share on module final degree Course 1: %; Course 2: %; Course 3: %.
Share of module grade on the course of study's final grade 1
Module course label Course type Course title SWS Workload of compulsory attendance Workload of preparation / homework etc Workload of independent learning Workload (examination and preparation) Sum workload
Course 1 Lecture Vorlesung 2 0
Course 2 Seminar Projektseminar 2 0
Course 3 Course Selbststudium 0
Workload by module 150 150
Total module workload 150
Examination Exam prerequisites Type of examination
Course 1
Course 2
Course 3
Final exam of module
mündl. Prüfung oder Klausur, Seminarvortrag
Exam repetition information
Prerequisites and conditions Prerequisites Frequency Compulsory attendance Share on module grade in percent
Course 1 Winter semester No %
Course 2 Winter semester No %
Course 3 Winter semester No %