PHY.08361.01 - Device fabrication lab course (Complete module description)
| PHY.08361.01 | 5 CP |
|---|---|
| Module label | Device fabrication lab course |
| Module code | PHY.08361.01 |
| Semester of first implementation | |
| Faculty/Institute | Institut für Physik |
| Module used in courses of study / semesters |
|
| Responsible person for this module | |
| Further responsible persons |
PD Dr. Alexander Sprafke |
| Prerequisites | |
| Skills to be acquired in this module | Im Rahmen von Vorlesung und zugehörigem Praktikum erlernen die Studierenden den konkreten Umgang mit Geräten in Reinraumumgebung. Hierbei lernen die Studierenden in der Vorlesung die verschiedenen notwendigen Schritten zunächst theoretisch kennen und verstehen, anschließend im Praktikum auch die Durchführung direkt am Gerät. Hierdurch erlangen die Studierenden Kompetenz im Umgang mit verschiedenen Geräten für die Halbleiterprozessierung (UV-Lithographie, Spin-Coater, Aufdampfanlage, Spitzenmessplatz). |
| Module contents |
- Einführung in das Belacken - Lackdickenmessung mittels Ellipsometrie und/oder Profilometer - Einführung in die UV-Lithographie - Aufdampfverfahren - Lift-Off - Optische Mikroskopie - Elektrische Charakterisierung
- Bedienung von Lackschleuder und Heizplatte - Ellipsometrie an Lackschichten - UV-Lithographie mit dem Kontaktbelichter und Entwicklung - Thermisches Verdampfen - Lift-Off im Lösungsmittel - Ergebnisprüfung im optischen Mikroskop - Elektrische Messung mit dem Spitzenmessplatz |
| Forms of instruction |
Lecture (2 SWS)
Practical training (2 SWS) Course |
| Languages of instruction | German, English |
| Duration (semesters) | 1 Semester Semester |
| Module frequency | jedes Wintersemester |
| Module capacity | unrestricted |
| Time of examination | |
| Credit points | 5 CP |
| Share on module final degree | Course 1: %; Course 2: %; Course 3: %. |
| Share of module grade on the course of study's final grade | 1 |
| Module course label | Course type | Course title | SWS | Workload of compulsory attendance | Workload of preparation / homework etc | Workload of independent learning | Workload (examination and preparation) | Sum workload |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Course 1 | Lecture | Vorlesung | 2 | 0 | ||||
| Course 2 | Practical training | Laborpraktikum | 2 | 0 | ||||
| Course 3 | Course | Selbststudium | 0 | |||||
| Workload by module | 150 | 150 | ||||||
| Total module workload | 150 | |||||||
| Examination | Exam prerequisites | Type of examination | |
|---|---|---|---|
| Course 1 | |||
| Course 2 | |||
| Course 3 | |||
| Final exam of module | Praktikumsprotokolle |
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| Exam repetition information | |||
| Prerequisites and conditions | Prerequisites | Frequency | Compulsory attendance | Share on module grade in percent |
|---|---|---|---|---|
| Course 1 | Winter semester | No | % | |
| Course 2 | Winter semester | No | % | |
| Course 3 | Winter semester | No | % |
