PHY.08362.01 - Advanced nanostructure fabrication (Vollständige Modulbeschreibung)

PHY.08362.01 - Advanced nanostructure fabrication (Vollständige Modulbeschreibung)

Originalfassung Englisch
PHY.08362.01 5 CP
Modulbezeichnung Advanced nanostructure fabrication
Modulcode PHY.08362.01
Semester der erstmaligen Durchführung
Fachbereich/Institut Institut für Physik
Verwendet in Studiengängen / Semestern
  • Physik und Nanotechnologie (180 LP) (Bachelor) > Physik PhysikNano180, Akkreditierungsfassung gültig ab WiSe 2024/25 > Pflichtmodule
Modulverantwortliche/r
Weitere verantwortliche Personen
NN (Habilitand)
Teilnahmevoraussetzungen
Kompetenzziele
Die Studierenden sollen im Rahmen der Vorlesung einen breiten Überblick über verschiedene Reinraumtechnologien erhalten, die zur Herstellung von Nanostrukturen notwendig sind.
Hierbei erlernen sie neben den bei der ULSI Fertigung zum Einsatz kommenden Verfahren auch alternative Verfahren.
Die Studierenden lernen neben der reinen Funktionsweise der Verfahren auch die Limitierungen und Artefakte der verschiedenen Prozesse korrekt einzuschätzen und bei der Prozessplanung zu berücksichtigen.
Im Rahmen des Projektseminars erlernen die Studierenden basierend auf den erhaltenen Informationen Prozesse selber zu planen, und ihre Durchführbarkeit zu überprüfen.
Modulinhalte
  • Bauelementkonzepte und Ziele der Strukturierung
  • Dünnschichtdeposition
- Sputtern
- Epitaxie
- Aufdampfverfahren
  • -Ätzverfahren
- Nasschemisches Ätzen
- Trockenchemisches Ätzverfahren
  • Lithographie
- Grundlagen (positiv/negativ Lithographie)
- UV-Lithographie, Kontaktlithographie, Maskenlose Lithographie, Projektionslithographie
- Extreme UV Lithographie
- Elektronenstrahllithographie
- Design-Rules und Proximitykorrektur
  • Alternative Lithographieverfahren
- Nanoimprintlithographie
- Microcontact printing
Lehrveranstaltungsformen Vorlesung (2 SWS)
Seminar (2 SWS)
Kursus
Unterrichtsprachen Deutsch, Englisch
Dauer in Semestern 1 Semester Semester
Angebotsrhythmus Modul jedes Sommersemester
Aufnahmekapazität Modul unbegrenzt
Prüfungsebene
Credit-Points 5 CP
Modulabschlussnote LV 1: %; LV 2: %; LV 3: %.
Faktor der Modulnote für die Endnote des Studiengangs 1
Modulveran­staltung Lehrveranstaltungs­form Veranstaltungs­titel SWS Workload Präsenz Workload Vor- / Nach­bereitung Workload selbstge­staltete Arbeit Workload Prüfung incl. Vorbereitung Workload Summe
LV 1 Vorlesung Vorlesung 2 0
LV 2 Seminar Projektseminar 2 0
LV 3 Kursus Selbststudium 0
Workload modulbezogen 150 150
Workload Modul insgesamt 150
Prüfung Prüfungsvorleistung Prüfungsform
LV 1
LV 2
LV 3
Gesamtmodul
mündl. Prüfung oder Klausur
Wiederholungsprüfung
Regularien Teilnahme­voraussetzungen Angebots­rhythmus Anwesenheits­pflicht Gewicht an Modulnote in %
LV 1 Sommersemester Nein %
LV 2 Sommersemester Nein %
LV 3 Sommersemester Nein %