CHE.08360.01 - Chemical aspects in nanotechnology (Vollständige Modulbeschreibung)

CHE.08360.01 - Chemical aspects in nanotechnology (Vollständige Modulbeschreibung)

Originalfassung Englisch
CHE.08360.01 5 CP
Modulbezeichnung Chemical aspects in nanotechnology
Modulcode CHE.08360.01
Semester der erstmaligen Durchführung
Fachbereich/Institut Institut für Chemie
Verwendet in Studiengängen / Semestern
  • Physik und Nanotechnologie (180 LP) (Bachelor) > Physik PhysikNano180, Akkreditierungsfassung gültig ab WiSe 2024/25 > Pflichtmodule
Modulverantwortliche/r
Weitere verantwortliche Personen
Prof. Dr. Wouter Maijenburg
Teilnahmevoraussetzungen
Kompetenzziele
  • Die Studierenden sollen Kenntnisse in verschiedenen Bereichen chemischer Prozesse, die für die Herstellung von Nanostrukturen notwendig sind, erwerben, sowohl aus der anorganischen Chemie im Bereich der Ätzprozesse und Elektrodeposition als auch aus der organischen Chemie im Bereich der Resistchemie und Lithographie.
  • Zusätzlich erlernen die Studierenden (übergreifend) die Chemie der Halbleiterdeposition aus der Gasphase.
Modulinhalte
  • Grundlagen der anorganischen Chemie
  • Löslichkeit, Komplexbildung, nasschemisches Ätzen
  • Gleichgewichtsreaktionen, Gasphasenabscheidung, reaktions und diffusionslimitiertes Wachstum
  • Gasphasenreaktionen, Bildung flüchtiger Verbindungen und Reposition bei trockenchemischen Ätzprozessen
  • Redoxreaktionen und elektrochemische Abscheidung aus der Lösung
Lehrveranstaltungsformen Vorlesung (2 SWS)
Seminar (2 SWS)
Kursus
Unterrichtsprachen Deutsch, Englisch
Dauer in Semestern 1 Semester Semester
Angebotsrhythmus Modul jedes Wintersemester
Aufnahmekapazität Modul unbegrenzt
Prüfungsebene
Credit-Points 5 CP
Modulabschlussnote LV 1: %; LV 2: %; LV 3: %.
Faktor der Modulnote für die Endnote des Studiengangs 1
Modulveran­staltung Lehrveranstaltungs­form Veranstaltungs­titel SWS Workload Präsenz Workload Vor- / Nach­bereitung Workload selbstge­staltete Arbeit Workload Prüfung incl. Vorbereitung Workload Summe
LV 1 Vorlesung Vorlesung 2 0
LV 2 Seminar Projektseminar 2 0
LV 3 Kursus Selbststudium 0
Workload modulbezogen 150 150
Workload Modul insgesamt 150
Prüfung Prüfungsvorleistung Prüfungsform
LV 1
LV 2
LV 3
Gesamtmodul
mündl. Prüfung oder Klausur, Seminarvortrag
Wiederholungsprüfung
Regularien Teilnahme­voraussetzungen Angebots­rhythmus Anwesenheits­pflicht Gewicht an Modulnote in %
LV 1 Wintersemester Nein %
LV 2 Wintersemester Nein %
LV 3 Wintersemester Nein %