PHY.08361.01 - Device fabrication lab course (Vollständige Modulbeschreibung)
| PHY.08361.01 | 5 CP |
|---|---|
| Modulbezeichnung | Device fabrication lab course |
| Modulcode | PHY.08361.01 |
| Semester der erstmaligen Durchführung | |
| Fachbereich/Institut | Institut für Physik |
| Verwendet in Studiengängen / Semestern |
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| Modulverantwortliche/r | |
| Weitere verantwortliche Personen |
NN (Nachfolge Leipner) |
| Teilnahmevoraussetzungen | |
| Kompetenzziele | Im Rahmen von Vorlesung und zugehörigem Praktikum erlernen die Studierenden den konkreten Umgang mit Geräten in Reinraumumgebung. Hierbei lernen die Studierenden in der Vorlesung die verschiedenen notwendigen Schritten zunächst theoretisch kennen und verstehen, anschließend im Praktikum auch die Durchführung direkt am Gerät. Hierdurch erlangen die Studierenden Kompetenz im Umgang mit verschiedenen Geräten für die Halbleiterprozessierung (UV-Lithographie, Spin-Coater, Aufdampfanlage, Spitzenmessplatz). |
| Modulinhalte |
- Einführung in das Belacken - Lackdickenmessung mittels Ellipsometrie und/oder Profilometer - Einführung in die UV-Lithographie - Aufdampfverfahren - Lift-Off - Optische Mikroskopie - Elektrische Charakterisierung
- Bedienung von Lackschleuder und Heizplatte - Ellipsometrie an Lackschichten - UV-Lithographie mit dem Kontaktbelichter und Entwicklung - Thermisches Verdampfen - Lift-Off im Lösungsmittel - Ergebnisprüfung im optischen Mikroskop - Elektrische Messung mit dem Spitzenmessplatz |
| Lehrveranstaltungsformen |
Vorlesung (2 SWS)
Praktikum (2 SWS) Kursus |
| Unterrichtsprachen | Deutsch, Englisch |
| Dauer in Semestern | 1 Semester Semester |
| Angebotsrhythmus Modul | jedes Wintersemester |
| Aufnahmekapazität Modul | unbegrenzt |
| Prüfungsebene | |
| Credit-Points | 5 CP |
| Modulabschlussnote | LV 1: %; LV 2: %; LV 3: %. |
| Faktor der Modulnote für die Endnote des Studiengangs | 1 |
| Modulveranstaltung | Lehrveranstaltungsform | Veranstaltungstitel | SWS | Workload Präsenz | Workload Vor- / Nachbereitung | Workload selbstgestaltete Arbeit | Workload Prüfung incl. Vorbereitung | Workload Summe |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| LV 1 | Vorlesung | Vorlesung | 2 | 0 | ||||
| LV 2 | Praktikum | Laborpraktikum | 2 | 0 | ||||
| LV 3 | Kursus | Selbststudium | 0 | |||||
| Workload modulbezogen | 150 | 150 | ||||||
| Workload Modul insgesamt | 150 | |||||||
| Prüfung | Prüfungsvorleistung | Prüfungsform | |
|---|---|---|---|
| LV 1 | |||
| LV 2 | |||
| LV 3 | |||
| Gesamtmodul | Praktikumsprotokolle |
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| Wiederholungsprüfung | |||
| Regularien | Teilnahmevoraussetzungen | Angebotsrhythmus | Anwesenheitspflicht | Gewicht an Modulnote in % |
|---|---|---|---|---|
| LV 1 | Wintersemester | Nein | % | |
| LV 2 | Wintersemester | Nein | % | |
| LV 3 | Wintersemester | Nein | % |
