PHY.08359.01 - Advanced CMOS technology (Vollständige Modulbeschreibung)

PHY.08359.01 - Advanced CMOS technology (Vollständige Modulbeschreibung)

Originalfassung Englisch
PHY.08359.01 5 CP
Modulbezeichnung Advanced CMOS technology
Modulcode PHY.08359.01
Semester der erstmaligen Durchführung
Fachbereich/Institut Institut für Physik
Verwendet in Studiengängen / Semestern
  • Physik und Nanotechnologie (180 LP) (Bachelor) > Physik PhysikNano180, Akkreditierungsfassung gültig ab WiSe 2024/25 > Pflichtmodule
Modulverantwortliche/r
Weitere verantwortliche Personen
NN
Teilnahmevoraussetzungen
Kompetenzziele
Die Studierenden sollen:
  • Ein Verständnis für den grundlegenden Aufbau und die Funktion integrierter CMOS Schaltungen entwickeln.
  • Die Bedeutung und Definition der Technology nodes und der verschiedenen Leistungskriterien moderner CMOS Schaltungen begreifen.
  • Die verschiedenen notwendigen Fertigungsschritte kennenlernen und verstehen.
  • Neue aktuelle Weiterentwicklungen im Materialbereich wie Silicon on insulator, strained silicon oder silicon germanium kennenlernen und die entsprechenden Vorteile verstehen.
  • Weitere Neuentwicklungen wie FinFETs und ähnliche im Kontext der aktuellen Hochintegration verstehen und einordnen.
Modulinhalte
1. Grundlegende Begriffe der CMOS Technologie, Technology nodes, Flächenbedarf
2. Aufbau und Bestandteile von Standard CMOS-Schaltungen
3. Ablauf des Fertigungsprozesses für VLSI Schaltungen, Prozessbeispiele
4. Silicon on insulator Technologie
5. Vorteile und Nutzung von strained silicon und silicon germanium
6. Entwicklung von planarer Technologie zu 3D MOSFETs (FinFET Technologie)
Lehrveranstaltungsformen Vorlesung (2 SWS)
Seminar (1 SWS)
Kursus
Unterrichtsprachen Deutsch, Englisch
Dauer in Semestern 1 Semester Semester
Angebotsrhythmus Modul jedes Wintersemester
Aufnahmekapazität Modul unbegrenzt
Prüfungsebene
Credit-Points 5 CP
Modulabschlussnote LV 1: %; LV 2: %; LV 3: %.
Faktor der Modulnote für die Endnote des Studiengangs 1
Modulveran­staltung Lehrveranstaltungs­form Veranstaltungs­titel SWS Workload Präsenz Workload Vor- / Nach­bereitung Workload selbstge­staltete Arbeit Workload Prüfung incl. Vorbereitung Workload Summe
LV 1 Vorlesung Vorlesung 2 0
LV 2 Seminar Projektseminar 1 0
LV 3 Kursus Selbststudium 0
Workload modulbezogen 150 150
Workload Modul insgesamt 150
Prüfung Prüfungsvorleistung Prüfungsform
LV 1
LV 2
LV 3
Gesamtmodul
mündl. Prüfung oder Klausur
Wiederholungsprüfung
Regularien Teilnahme­voraussetzungen Angebots­rhythmus Anwesenheits­pflicht Gewicht an Modulnote in %
LV 1 Wintersemester Nein %
LV 2 Wintersemester Nein %
LV 3 Wintersemester Nein %